在氮化硅中添加氧化鈧作為增密劑與添加其它氧化物相比，可以提高其高溫機械性能。這種氧化鈧致密的氮化硅（Sc₂O₃-Si₃N₄）還具有在干燥或潮濕環境中很高的抗氧化性。氧化鈧還是氮化硅的良好燒結助劑，它不易生成四價金屬和硅的氮氧化物，從而避免了因氧化膨脹而導致的開裂。這種優異的高溫抗變形性，可歸結于在細小顆粒的邊緣生成了難熔相Sc₂Si₂O₇。在室溫和1370 ^OC下進行快速斷裂抗擾試驗，Sc₂O₃-Si₃N₄的快折斷強度分別為748MPa和496 MPa，比其它稀土致密的氮化硅的快折斷強度大得多。而且，Sc₂O₃-Si₃N₄ 的抗蠕變性的數值比MgO-Si₃N₄高一到兩個數量級。Sc₂O₃-Si₃N₄在1300℃的空氣中氧化100個小時的重量為0.1mg/cm³，僅為相同條件下Y₂O₃-Si₃N₄的一半。鈧SiAlON(β’-(Sc-Si-Al-O-N))陶瓷也具有良好的抗氧化性。

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